GERİ DÖN
Ders Öğretim Planı
| Dersin Kodu | Dersin Adı | Dersin Türü | Yıl | Yarıyıl | AKTS |
|---|---|---|---|---|---|
| 9103025452009 | İnce Film Teknolojileri | Seçmeli Ders Grubu | 1 | 1 | 7,00 |
Dersin Seviyesi
Yüksek Lisans
Dersin Sunulduğu Dil
İngilizce
Dersin Amacı
Öğrencilere aşağıdaki kavramların öğretilmesi. 1. ince film fiziğinin temelleri 2. ince film üretim teknikleri (buharlaştırma, kimyasal gaz depositleme…) 3. buharlaştırma oranları ve film kalınlıklarının deneysel olarak ölçülmesi 4. ince filmlerin mekaniksel, elektriksel ve optik özellikleri
Dersi Veren Öğretim Görevlisi/Görevlileri
Assist. Prof. Dr. Ömer Mermer
Öğrenme Çıktıları
| 1 | İnce film buharlaştırma ve deposzitleme tekniklerini öğrenme ve kullanabilme becerisi, |
| 2 | İnce filmlerin mekaniksel, elektriksel ve optik özelliklerinin teorik olarak hesaplanması |
| 3 | Vakum teknolojileri ve gaz kinetiğinin temellerini öğrenmek, |
| 4 | İnce filmlerin mekaniksel, elektriksel ve optik özelliklerinin ölçülmesinde deneysel cihazları öğrenme ve kullanabilme becerisi, |
| 5 | İnce film üretim tekniklerinin temellerinin öğrenilmesi, |
Öğretim Sistemi
Dersin Ön Koşulu Olan Dersler
Yok
Ders İçin Önerilen Diğer Hususlar
Yok
Dersin İçeriği
İnce filmlerin hazırlanması. Buharlaştırma, saçılma, kimyasal gaz depositleme, elektrokimyasal depositleme. İnce filmlerin büyütülmesi, buharlaştırma oranları ve film kalınlıklarının ölçülmesi. İnce filmlerin kimyasal analizleri. ince filmlerin mekaniksel, elektriksel ve optik özellikleri.
Haftalık Ayrıntılı Ders İçeriği
| Hafta | Konular (Teorik) | Öğretim Yöntem ve Teknikleri | Ön Hazırlık |
|---|---|---|---|
| 1 | Vakum teknolojilerine giriş | ||
| 2 | Gaz kinetiği ve ilgili matematiksel modeller | ||
| 3 | İnce Film büyütme tekniklerine giriş | ||
| 4 | Fiziksel buhar Depositleme | ||
| 5 | Termal ve e-beam buharlaştırma | ||
| 6 | Saçtırma tekniği | ||
| 7 | kimyasal gaz depositleme, | ||
| 8 | elektrokimyasal depositleme. | ||
| 9 | Arasınav | ||
| 10 | Darbeli lazer depositleme | ||
| 11 | İnce filmlerin büyütülmesi, ve film kalınlıklarının ölçülmesi. | ||
| 12 | İnce filmlerin kimyasal analizleri. | ||
| 13 | ince filmlerin mekaniksel, elektriksel ve optik özellikleri. | ||
| 14 | Dönem projeleri sunumları | ||
| 15 | Dönem projeleri sunumları | ||
| 16 | Final Sınavı |
Ders Kitabı / Malzemesi / Önerilen Kaynaklar
Donald Smith, 2007, “Thin-Film Deposition: Principles and Practice”, Prentice Hall
Planlanan Öğrenme Aktiviteleri ve Metodları
Etkinlikler ayrıntılı olarak "Değerlendirme" ve "İş Yükü Hesaplaması" bölümlerinde verilmiştir.
Değerlendirme
| Yarıyıl (Yıl) İçi Etkinlikleri | Adet | Değer |
|---|---|---|
| Ara Sınav | 1 | 100 |
| Toplam | 100 | |
| Yarıyıl (Yıl) Sonu Etkinlikleri | Adet | Değer |
| Final Sınavı | 1 | 100 |
| Toplam | 100 | |
| Yarıyıl (Yıl) İçi Etkinlikleri | 40 | |
| Yarıyıl (Yıl) Sonu Etkinlikleri | 60 | |
Staj Durumu
Yok
İş Yükü Hesaplaması
| Etkinlikler | Sayısı | Süresi (saat) | Toplam İş Yükü (saat) |
|---|---|---|---|
| Ara Sınav | 1 | 2 | 2 |
| Final Sınavı | 1 | 2 | 2 |
| Quiz | 3 | 0 | 1 |
| Derse Katılım | 14 | 3 | 42 |
| Rapor Hazırlama | 1 | 35 | 35 |
| Rapor Sunma | 1 | 30 | 30 |
| Bireysel Çalışma | 14 | 1 | 14 |
| Ara Sınav İçin Bireysel Çalışma | 1 | 30 | 30 |
| Final Sınavı içiin Bireysel Çalışma | 1 | 30 | 30 |
| Quiz için Bireysel Çalışma | 3 | 10 | 30 |
| Toplam İş Yükü (saat) | 216 | ||
Program ve Öğrenme Çıktıları İlişkisi
| PÇ 1 | PÇ 2 | PÇ 3 | PÇ 4 | PÇ 5 | PÇ 6 | PÇ 7 | |
| ÖÇ 1 | 4 | 4 | 5 | 4 | 4 | ||
| ÖÇ 2 | 5 | 3 | 5 | ||||
| ÖÇ 3 | 4 | 4 | |||||
| ÖÇ 4 | 4 | 5 | 4 | 4 | |||
| ÖÇ 5 | 4 | 4 |
* Katkı Düzeyi : 1 Çok düşük 2 Düşük 3 Orta 4 Yüksek 5 Çok yüksek