GERİ DÖN

Ders Öğretim Planı


Dersin Kodu Dersin Adı Dersin Türü Yıl Yarıyıl AKTS
9101046512017 İnce Film Fiziğine Giriş I Seçmeli Ders Grubu 1 1 8,00

Doktora


Türkçe


Dersin amacı, İnce filmin tanımını yapmak, üretim yöntemlerini anlatmak, bu yöntemlerin avantaj ve dez avantajlarını karşılaştırmak, ince film inceleme yöntemleri ve ince filmlerin kullanım alanları hakkında fikir vermektir.


Prof. Dr. Mustafa TEPE


1 1. Öğrenciler ince film hakkında genel bilgiye sahip olacaktır. İnce film üretimi için yapılması gereken ön hazırlıkları öğrenmiş olacaktır.
2 2. Öğrenciler İnce film üretim yöntemlerini tanıyacak, yöntemleri birbiriyle kıyaslayabilecek ve kendi çalışmaları için gerekli yöntemi seçebileceklerdir.
3 3. Öğrenciler İnce film üretiminde karşılaşabileceği problemleri çözebilecektir.
4 4. Öğrenciler Üretilen ince filmlerin karakteristik özelliklerini inceleme yöntemlerini tanıyacaktır.
5 5. Öğrenciler İnce filmin kullanım alanları bilgisine sahip olacaktır.


Yok


Yok


İnce filmin tanımı, Kristal yapı, Vakum teknikleri, İnce film elde etme yöntemleri: Fiziksel yöntemler; Buharlaştırma (Elektron Beam, Termal), Sıçratma, Püskütme, Sol-gel, Film kalınlığı belirleme, Yapısal inceleme yöntemleri; XRD, SEM, İnce filmin uygulama alanları.


Hafta Konular (Teorik) Öğretim Yöntem ve Teknikleri Ön Hazırlık
1 İnce filmin tanımı ve genel kullanım alanları
2 Katılarda kristal yapılar
3 Vakum Teknikleri
4 İnce film elde etme yöntemleri, Fiziksel yöntemler, Buharlaştırma
5 Elektron Bombardımanı ile buharlaştırma
6 Termal Buharlaştırma
7 Sıçratma ile kaplama
8 Arasınav
9 Püskütme.ile kaplama, polikristaller ve epitaksiyel büyütme
10 Sol-jel ile kaplama
11 Film kalınlığı ölçme yöntemleri
12 Yapısal inceleme yöntemleri, XRD,SEM
13 İnce filmlerin elektriksel özellikleri
14 İnce filmlerin Manyetik özellikleri
15 İnce filmlerin mekanik özellikleri
16 Final sınavı

2. Materials Science of Thin Films: Deposition and Structure, by M. Ohring, 2002.


Etkinlikler ayrıntılı olarak "Değerlendirme" ve "İş Yükü Hesaplaması" bölümlerinde verilmiştir.


Yarıyıl (Yıl) İçi Etkinlikleri Adet Değer
Ara Sınav 1 100
Toplam 100
Yarıyıl (Yıl) Sonu Etkinlikleri Adet Değer
Final Sınavı 1 100
Toplam 100
Yarıyıl (Yıl) İçi Etkinlikleri 40
Yarıyıl (Yıl) Sonu Etkinlikleri 60

Yok


Etkinlikler Sayısı Süresi (saat) Toplam İş Yükü (saat)
Ara Sınav 1 2 2
Final Sınavı 1 2 2
Derse Katılım 14 3 42
Bireysel Çalışma 14 8 112
Ara Sınav İçin Bireysel Çalışma 1 35 35
Final Sınavı içiin Bireysel Çalışma 1 35 35
Toplam İş Yükü (saat) 228

PÇ 1 PÇ 2 PÇ 3 PÇ 4 PÇ 5 PÇ 6 PÇ 7
ÖÇ 1
ÖÇ 2
ÖÇ 3
ÖÇ 4
ÖÇ 5
* Katkı Düzeyi : 1 Çok düşük 2 Düşük 3 Orta 4 Yüksek 5 Çok yüksek